FMR -40
1、 特性
1)FMR是負(fù)性感光抗蝕劑,有較好的耐酸性;
2)FMR的解像性比較好,由于抗蝕劑中的金屬離子含量極少,所以適合于半導(dǎo)體管(電晶體)、二極管、IC(集成電路)和LSI(大規(guī)模集成電路)等方面使用;
2、 使用方法
1)表面處理:用天那水對金屬板進行完全的脫脂處理;
2)涂布處理:旋轉(zhuǎn)式涂布、浸蘸、噴涂等;
3)烘干:置入干燥箱中,80-100℃,20分鐘;
4)曝光:用曬版機貼合菲林片曝光;
5)顯影:使用FMR顯像液,在常溫下顯影1分鐘,用FMR清洗劑沖洗30秒;
6)烘烤:在150℃的情況下,加熱20-30分鐘,提高耐腐蝕性;
7)腐蝕:用腐蝕水腐蝕40秒左右;
8)脫膜:使用FMR脫膜液,在常溫下浸2-3分鐘,然后用水洗;
3、 包裝:1L/罐 2L/罐
1L/罐 白罐 ,2L/罐 綠罐